单晶炉与多晶炉用干式螺杆真空泵的特点

·无油气污染真空系统，可获得清洁真空

·配置单晶硅与多晶炉专用过滤器，减少硅粉吸入真空泵

·被抽气体不会被污染，尾气可进行回收利用

·无油气和油烟等有害气体的排放，环境污染小

·避免了因泵腔内润滑油乳化、变质而出现的运行故障，提高了系统的稳定性，同时减少了泵润滑油的损耗

·泵可单独使用，或者与罗茨泵、分子泵等组合成无油真空机组，作为机组的前级泵使用。单泵进气压力在 1Pa 至大气

 压均能正常工作，抽气效率高，可大大简化抽真空系统

·泵腔内各相对运动零件之间采用间隙密封，零件间无接触摩擦存在，零件损耗小，使用寿命长

·泵腔内采用间隙密封，对少量小颗粒粉尘不敏感

·整机体积小，减少占地面积

·消耗功率更低，节能效果好

·运行噪声低

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